今天人民网消息最后确定我国量产的...

  • 苏苏爱短线
  • 2024-09-16 23:12:39
今天人民网消息最后确定我国量产的国产氟化氩光刻机,采用的是 氟化氩(ArF) 准分子激光光源。今年四月份我国中科院在DUV氟化氩光源研发上出现重大进展,可以改进目前的光刻机氟化氩光源,采用混合光源。原文如下: 中国科学院研究人员最近取得的一项突破推动了这一领域的发展。据《先进光子学》(Ad­v­a­n­c­ed Ph­o­t­o­n­i­cs Ne­x­us)杂志报道,他们利用采用 LBO 晶体的复杂两级和频发生过程,在 193 纳米波长实现了 60 毫瓦(mW)固态 DUV 激光器,而且线宽很窄。《尤其值得注意》的是所实现的出色转换效率:从 221 纳米到 193 纳米的《转换效率为27%》,从 258 纳米到 193 纳米的《转换效率为 3%》,为效率值设定了新的基准。《这项研究强调了 LBO 晶体在产生功率级别从数百毫瓦到瓦特的 DUV 激光方面的巨大潜力,为探索其他 DUV 激光波长开辟了道路》。 报告中的研究证明了“用固体激光器泵浦 LBO 以可靠有效地产生 193 纳米窄线宽激光的可行性,并为利用 LBO 制造高性价比、高功率 DUV 激光系统开辟了一条新途径”。 这些进展不仅推动了 DUV 激光技术的发展,而且有望彻底改变科学和工业领域的无数应用。
从以上叙述可以看出,我国在研究改进氟化氩光刻机光源中, 目前开始向几百毫瓦研究迈进,如果未来功率做到稍大后(一般需要至少40瓦---60瓦),可能比目前荷兰阿斯麦公司目前采用的氟化氩DUV光刻机光源先进很多,成本也会大幅下降, 是否能做到更高芯片制程我这个门外汉也不清楚。 备注:LBO 晶体我国中科院旗下的福晶科技是世界第一技术,也是世界第一市场占有率,处于垄断地位占据全球 80%的市场。
2、根据IT之家消息,从华为三折叠供应商获悉,华为三折叠,铰链单机价值量在1000元以上,Ma­te XT铰链的MIM零件主要由东睦股份供应,占铰链价值量的50%以上。
UTG玻璃由凯盛科技供应,价值量在200元左右。
供应链人士称,华为Ma­te XT前期备货约40-60万台,但目前收到的计划是,核算下来,备货约100万台!

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